傳南科廠18廠出現工序問題 部分產線已停工 台積電回應沒有的事

據台灣媒體7月30日報道稱，台積電的南科18a廠，29日夜間傳出生產工序出現問題，一部分生產線已經停止運行，30日早上，供貨商被擋於園區外，無法進入園區。

而有供應商透露，此次問題的原因是氧氣供應受到汙染，有有關人員認為，半導體材料生產工序大約有270道工序需用到氧氣，基本上全是關鍵工序；更何況18a廠解決的全是現階段台積電最先進的5納米核心工序，此時產生氧氣環境汙染，也許是直中台積電重要，但預估台積電會全力以赴清除有關難題，盡早讓生產線修複。

但接著台積電就這事做出回複，表明絕無此事，僅僅有一部分來自生產商供應的汽體疑是受到了汙染，已及時調用別的汽體進行供應，對生產線未導致顯著危害，產線仍處於正常生產。